Производственная среда для полупроводниковые приборы чрезвычайно чувствителен к присутствию загрязняющих веществ. Даже небольшое количество газообразных или твердых частиц может снизить качество продукции. Поэтому требования к чистоте в производстве полупроводниковых приборов гораздо выше, чем в производстве полупроводниковых приборов. другие отрасли. На протяжении всего процесса производства микросхем и полупроводниковых устройств контроль загрязнения технологической среды имеет решающее значение. Чистота воздуха в основных процессах должна соответствовать стандартам ISO Class 1, а концентрация газообразных молекулярных загрязняющих веществ (AMC) должна быть ниже одной части на миллиард. Несоответствие технологической среды стандартам может привести к значительному снижению выхода продукции. Обычный воздух содержит большое количество твердых частиц, таких как микрочастицы и пыль, а также газообразных загрязняющих веществ, таких как диоксид серы, оксиды азота и аммиак. Только после очистки он может попасть в помещение. чистое помещение. Поскольку в чистых помещениях, используемых для производства полупроводников и других микроэлектронных устройств, необходимо поддерживать стандартные уровни чистоты круглосуточно, система кондиционирования воздуха в чистых помещениях (включая вытяжную систему), связанные с ней источники тепла и холода, а также соответствующие системы подачи должны работать круглосуточно, что существенно отличается от других обычных систем кондиционирования воздуха. Вентилятор, являясь источником питания, потребляет большую часть энергии за счёт совокупного сопротивления его компонентов. Кроме того, воздушный фильтрСопротивление составляет примерно 50% от общего напора вентилятора. Поэтому снижение энергопотребления фильтрами кондиционеров имеет решающее значение для снижения энергопотребления в здании и выбросов углерода. С точки зрения повышения энергоэффективности и снижения энергопотребления оптимизация производительности воздушных фильтров без ущерба для требований к фильтрации имеет решающее значение. Энергопотребление фильтра напрямую зависит от среднего сопротивления и связано с начальным сопротивлением и пылеёмкостью. Снижение начального сопротивления, увеличение пылеёмкости и минимизация роста сопротивления в процессе пылеудержания — эффективные способы снижения энергопотребления, что снижает расходы потребителей на электроэнергию и способствует защите окружающей среды.
Воздушные фильтры – это очистители воздуха, работающие по принципу фильтрации. НЕРА-фильтр мы часто слышим о том, что означает Высокоэффективный сажевый воздушный фильтр. Давайте разберем пять основных принципов фильтрации воздуха, чтобы помочь вам понять их основную логику. 1. Эффект перехвата: Волокна фильтра имеют сложную структуру. При контакте частиц пыли с поверхностью волокон фильтра они непосредственно задерживаются, если находятся достаточно близко к фильтрующему материалу. Это явление особенно заметно в плотных фильтрующих материалах, таких как трёхмерная сетчатая структура, образованная ультратонкими волокнами в ткани для масок, изготовленной методом мелтблауна, которая способна прочно удерживать вирусные аэрозоли в промежутках между волокнами. 2. Эффект инерции: Сложное расположение фильтрующих волокон в воздушном фильтре приводит к тому, что воздушный поток сталкивается с препятствиями и отклоняется при прохождении через фильтрующий материал. Частицы пыли в воздухе под действием сил инерции отрываются от потока и ударяются о поверхность фильтрующих волокон, оседая на ней. Чем крупнее частица, тем больше сила инерции, тем выше вероятность её блокировки фильтрующими волокнами и тем выше эффективность фильтрации. 3. Эффект диффузии: Эффект диффузии направлен на ультрадисперсные частицы размером менее 0,1 мкм. Частицы размером менее 0,1 мкм в основном совершают броуновское движение, двигаясь по неупорядоченной траектории, что значительно увеличивает вероятность контакта с волокнами фильтра; чем меньше частица, тем легче её удалить. 4. Эффект гравитации: Когда скорость воздушного потока ниже скорости осаждения частиц, более крупные частицы естественным образом оседают под действием силы тяжести. Башни очистки дымовых газов на тепловых электростанциях расширяют пространство и снижают скорость потока, позволяя пыли оседать в пылеуловитель подобно песку, оседающему на дно водоёма. Этот механизм экономичен и эффективен для очистки пыли высокой концентрации, но его воздействие на взвешенные частицы ограничено, и обычно он используется в качестве метода предварительной очистки. 5. Электростатический эффект: Технология электростатического электрета заряжает волокна, давая фильтрующему материалу способность активно захватывать частицы с противоположным зарядом, подобно тому, как магнит притягивает железные опилки. Этот механизм особенно эффективен для заряженных частиц PM2.5, и промышленное пылеудаляющее оборудование использует электретную обработку поверхности фильтра.