Производственная среда для полупроводниковые приборы чрезвычайно чувствителен к присутствию загрязняющих веществ. Даже небольшое количество газообразных или твердых частиц может снизить качество продукции. Поэтому требования к чистоте в производстве полупроводниковых приборов гораздо выше, чем в производстве полупроводниковых приборов. другие отрасли. На протяжении всего процесса производства микросхем и полупроводниковых устройств контроль загрязнения технологической среды имеет решающее значение. Чистота воздуха в основных процессах должна соответствовать стандартам ISO Class 1, а концентрация газообразных молекулярных загрязняющих веществ (AMC) должна быть ниже одной части на миллиард. Несоответствие технологической среды стандартам может привести к значительному снижению выхода продукции. Обычный воздух содержит большое количество твердых частиц, таких как микрочастицы и пыль, а также газообразных загрязняющих веществ, таких как диоксид серы, оксиды азота и аммиак. Только после очистки он может попасть в помещение. чистое помещение. Поскольку в чистых помещениях, используемых для производства полупроводников и других микроэлектронных устройств, необходимо поддерживать стандартные уровни чистоты круглосуточно, система кондиционирования воздуха в чистых помещениях (включая вытяжную систему), связанные с ней источники тепла и холода, а также соответствующие системы подачи должны работать круглосуточно, что существенно отличается от других обычных систем кондиционирования воздуха. Вентилятор, являясь источником питания, потребляет большую часть энергии за счёт совокупного сопротивления его компонентов. Кроме того, воздушный фильтрСопротивление составляет примерно 50% от общего напора вентилятора. Поэтому снижение энергопотребления фильтрами кондиционеров имеет решающее значение для снижения энергопотребления в здании и выбросов углерода. С точки зрения повышения энергоэффективности и снижения энергопотребления оптимизация производительности воздушных фильтров без ущерба для требований к фильтрации имеет решающее значение. Энергопотребление фильтра напрямую зависит от среднего сопротивления и связано с начальным сопротивлением и пылеёмкостью. Снижение начального сопротивления, увеличение пылеёмкости и минимизация роста сопротивления в процессе пылеудержания — эффективные способы снижения энергопотребления, что снижает расходы потребителей на электроэнергию и способствует защите окружающей среды.
Воздушные фильтры – это очистители воздуха, работающие по принципу фильтрации. НЕРА-фильтр мы часто слышим о том, что означает Высокоэффективный сажевый воздушный фильтр. Давайте разберем пять основных принципов фильтрации воздуха, чтобы помочь вам понять их основную логику. 1. Эффект перехвата: Волокна фильтра имеют сложную структуру. При контакте частиц пыли с поверхностью волокон фильтра они непосредственно задерживаются, если находятся достаточно близко к фильтрующему материалу. Это явление особенно заметно в плотных фильтрующих материалах, таких как трёхмерная сетчатая структура, образованная ультратонкими волокнами в ткани для масок, изготовленной методом мелтблауна, которая способна прочно удерживать вирусные аэрозоли в промежутках между волокнами. 2. Эффект инерции: Сложное расположение фильтрующих волокон в воздушном фильтре приводит к тому, что воздушный поток сталкивается с препятствиями и отклоняется при прохождении через фильтрующий материал. Частицы пыли в воздухе под действием сил инерции отрываются от потока и ударяются о поверхность фильтрующих волокон, оседая на ней. Чем крупнее частица, тем больше сила инерции, тем выше вероятность её блокировки фильтрующими волокнами и тем выше эффективность фильтрации. 3. Эффект диффузии: Эффект диффузии направлен на ультрадисперсные частицы размером менее 0,1 мкм. Частицы размером менее 0,1 мкм в основном совершают броуновское движение, двигаясь по неупорядоченной траектории, что значительно увеличивает вероятность контакта с волокнами фильтра; чем меньше частица, тем легче её удалить. 4. Эффект гравитации: Когда скорость воздушного потока ниже скорости осаждения частиц, более крупные частицы естественным образом оседают под действием силы тяжести. Башни очистки дымовых газов на тепловых электростанциях расширяют пространство и снижают скорость потока, позволяя пыли оседать в пылеуловитель подобно песку, оседающему на дно водоёма. Этот механизм экономичен и эффективен для очистки пыли высокой концентрации, но его воздействие на взвешенные частицы ограничено, и обычно он используется в качестве метода предварительной очистки. 5. Электростатический эффект: Технология электростатического электрета заряжает волокна, давая фильтрующему материалу способность активно захватывать частицы с противоположным зарядом, подобно тому, как магнит притягивает железные опилки. Этот механизм особенно эффективен для заряженных частиц PM2.5, и промышленное пылеудаляющее оборудование использует электретную обработку поверхности фильтра.
В чистых помещениях к системам вентиляции предъявляются строгие требования. Они должны обеспечивать достаточный поток воздуха и давление, а также точный контроль температуры и влажности, обеспечивая стабильное качество воздуха. Эти требования применимы к различным схемам воздушных потоков и размерам помещений. Многие производственные процессы требуют соблюдения условий чистоты, поскольку чистые, и даже сверхчистые, помещения гарантируют экологичность продукции при строгих условиях производства. Даже мельчайшие примеси в воздухе могут негативно повлиять на производственные процессы, приводя к высокому проценту брака. Например, производственные среды в таких областях, как оптика и лазеры, аэрокосмическая промышленность, биологические науки, медицинские исследования и лечение, пищевое и фармацевтическое производство, а также нанотехнологии, требуют практически 100% беспылевой и безбактериальной подачи воздуха. Однако, кондиционирование воздуха и системы вентиляции в чистых помещениях Энергоэффективность и стоимость вентиляторов критически важны из-за высокой скорости воздухообмена. Поэтому, помимо требований к аэродинамическим характеристикам, вентиляторы должны соответствовать таким ключевым стандартам, как компактность, низкий уровень шума, использование материалов, подходящих для чистых помещений, наличие надлежащих возможностей управления, сетевые возможности и энергоэффективность. Фильтры FFU разработаны специально для решения этих задач. Они эффективно улучшают вентиляцию в чистых помещениях, обеспечивая стабильность производственной среды и качество продукции. FFU — это устройство, которое искусно сочетает в себе систему фильтрации и вентилятор. Он имеет потолочную конструкцию, компактен и эффективен, а также занимает минимальное пространство для установки. FFU содержит предварительные и высокоэффективные фильтры. Воздух засасывается вентилятором сверху, проходит тонкую фильтрацию и затем равномерно распределяется со скоростью 0,45 м/с ± 20%. АФУ играют ключевую роль в чистых помещениях, чистых боксах, чистых производственных линиях, модульных чистых помещениях и локальных средах класса 100. Эти области применения охватывают производство полупроводников, электроники, плоских дисплеев и дисководов, а также оптику, биомедицину и прецизионное производство — отрасли с жесткими требованиями к контролю загрязнения воздуха. Гибкость и простота использования FFU: модульная конструкция FFU с автономным питанием упрощает замену, установку и перемещение. Соответствующие фильтры легко заменяются, не имеют ограничений по местоположению и идеально подходят для зонированного контроля в чистых помещениях. FFU можно легко заменить или переместить для адаптации к различным чистым средам по мере необходимости. Кроме того, FFU можно использовать для создания простых чистых столов, чистых кабин, чистых проходных шкафов и шкафов для хранения чистых материалов, отвечающих различным требованиям к чистоте. Возможность потолочного монтажа, особенно в больших чистых помещениях, значительно снижает затраты на строительство. Технология вентиляции с отрицательным давлением: уникальная конструкция системы вентиляции с отрицательным давлением в фильтро-вентиляционном блоке FFU позволяет легко достичь высокого уровня чистоты в различных условиях. Благодаря автономному питанию поддерживается избыточное давление внутри чистого помещения, что эффективно предотвращает проникновение внешних частиц и обеспечивает безопасную и удобную герметизацию. Тихая работа: Фильтрующий блок вентилятора FFU Он отличается исключительно тихой работой, сохраняя низкий уровень шума даже при длительном использовании. Вибрация очень низкая, что обеспечивает плавную регулировку скорости и равномерное распределение воздушного потока, обеспечивая стабильную чистоту помещения. Устройства подачи воздуха для чистых помещений * Быстрое строительство: благодаря использованию технологии FFU нет необходимости в изготовлении и монтаже воздуховодов, что значительно сокращает цикл строительства. * Снижение эксплуатационных расходов: подача чистого воздуха в чистые помещения с помощью технологии FFU не только экономична, но и чрезвычайно энергоэффективна. Хотя первоначальные инвестиции в FFU могут быть несколько выше, чем в канальную вентиляцию, их отсутствие необходимости в обслуживании в долгосрочной перспективе значительно снижает общие эксплуатационные расходы. * Экономия пространства: по сравнению с другими системами системы FFU занимают меньшую высоту пола в камере притока и практически не занимают места в чистом помещении. * Широкая применимость: системы FFU могут адаптироваться к чистым помещениям и микросредам различных размеров и требований к чистоте, обеспечивая высококачественный чистый воздух. При строительстве или реконструкции чистых помещений они не только повышают уровень чистоты, но и эффективно снижают уровень шума и вибрации. Применение систем FFU в цехах по производству полупроводниковых пластин: Системы FFU широко используются в чистых помещениях, требующих уровней очистки воздуха ISO 1-4, играя решающую роль, особенно в процессах с вертикальным ламинарным потоком в цехах по производству полупроводниковых пластин. В технической антресоли воздух эффективно доставляется в чистый производственный слой через FFU. Затем этот поток воздуха проходит через фальшполы и отверстия вафельных плит, попадая в чистую нижнюю техническую антресоль. Наконец, после обработки DCC (сухими охлаждающими змеевиками) в воздуховоде возврата воздуха, воздух возвращается в верхнюю техническую антресоль, образуя цикл. Такая конструкция эффективно поддерживает строгий контроль производственной среды в цехе по изготовлению пластин, включая температуру, влажность, чистоту и гашение вибраций. Кроме того, применение систем FFU в биологических лабораториях также имеет важное значение. При работе персонала лаборатории с патогенными микроорганизмами, экспериментальными материалами, содержащими патогенные микроорганизмы, или паразитами, системы FFU предъявляют особые требования к проектированию и строительству лабораторий, чтобы обеспечить безопасность экспериментов и чистоту окружающей среды. Современные лабораторные системы очистки обычно состоят из нескольких частей, включая слой статического давления, технологический слой, вспомогательный слой технологического воздуха и воздуховод обратного воздуха. В этой системе для обработки воздуха в первую очередь используются фильтры-уловители (ФУ). Принцип работы заключается в следующем: ФУ обеспечивают необходимую циркуляцию, смешивая свежий воздух с рециркулированным, который затем, пройдя через сверхвысокоэффективные фильтры, подается в технологический слой и вспомогательный слой технологического воздуха. Поддержание отрицательного давления между слоем статического давления и технологическим слоем эффективно предотвращает утечку вредных веществ, обеспечивая чистоту и безопасность лабораторной среды.
Прорыв в технологии культивирования тканей каучукового дерева ускоряет модернизацию современного сельского хозяйства. Инновационная технология, разработанная Научно-исследовательским институтом каучука Китайской академии тропических сельскохозяйственных наук, посредством соматического эмбриогенеза и размножения черенками, позволила добиться эффективного размножения и улучшения качества саженцев каучукового дерева, вдохнув новую жизнь в индустрию культивирования тканей растений. Однако культивирование растительных тканей предъявляет чрезвычайно высокие требования к условиям выращивания, что требует создания идеально чистых лабораторных условий для обеспечения стерильности. Традиционное оборудование для очистки воздуха часто не соответствует строгим требованиям по контролю частиц и микроорганизмов, что приводит к увеличению риска загрязнения и влияет на выживаемость и качество рассады, выращенной методом тканевой культуры. Следовательно, модернизация оборудование для очистки воздуха стало решающим фактором в развитии технологии культивирования тканей. Обладая 20-летним опытом в области технологий очистки воздуха, KLCБлагодаря инновационным технологиям и профессиональному дизайну, компания обеспечивает всестороннюю поддержку чистой среды для технологии культивирования тканей каучукового дерева. Вместе они создали эффективную, интеллектуальную и простую в обслуживании систему. система очистки воздухаобеспечивая надежную защиту среды роста при культивировании растительных тканей. Широкомасштабная очистка, обеспечивающая стерильный рост.HEPA-фильтры от KLCБлагодаря превосходным фильтрующим свойствам, эти фильтры обеспечивают сверхвысокую эффективность очистки воздуха в лаборатории тканевых культур. Высокая эффективность фильтрации гарантирует выращивание рассады в стерильных условиях, снижая риск заражения. Непрерывная очистка воздуха охватывает все пространство, обеспечивая бесперебойную очистку и стабильную работу всех зон лаборатории тканевых культур, гарантируя отсутствие загрязнения на протяжении всего процесса культивирования тканей и обеспечивая непрерывную и стабильную работу большой чистой зоны. Защита от проникновения загрязнений с помощью воздушных душевых кабинKLC сквозные окна для воздушного душа Они используются для переноса материалов, обеспечивая проветривание материалов перед их попаданием в лабораторию для удаления поверхностных загрязнений. Это эффективно предотвращает проникновение внешних загрязнений в лабораторию через материалы, защищая среду роста проростков, выращенных методом тканевой культуры. Горизонтальная чистота, защита стерильных операцийНекоторые процессы культивирования растительных тканей требуют высокой точности. чистая скамейкаДля обеспечения стерильности. Горизонтальный ламинарный бокс KLC обеспечивает горизонтальный поток чистого воздуха, гарантируя чистоту воздуха в рабочей зоне. Это создает стерильную рабочую среду для таких операций, как инокуляция и выращивание саженцев каучукового дерева методом тканевой культуры. Ламинарный поток воздуха, обеспечивающий точное соблюдение стерильности пространства.Культивирование растительных тканей требует чрезвычайно высокой чистоты в локальных рабочих зонах, особенно при проведении некоторых высокоточных экспериментальных операций. KLC ламинарные боксыБлагодаря точно выверенной конструкции с ламинарным потоком воздуха, они обеспечивают исключительно чистую воздушную среду в определенных зонах.Их вертикальные или горизонтальные ламинарные потоки воздуха эффективно удаляют загрязнения из локализованных областей, обеспечивая стерильные условия в критически важных рабочих зонах. Независимо от того, используется ли ламинарный бокс KLC для инокуляции, культивирования или других чувствительных операций, он обеспечивает точную гарантию чистоты для выращивания культур тканей, способствуя бесперебойному проведению экспериментальных процедур. Решения KLC для очистки воздуха Компания KLC обеспечивает высококачественный чистый воздух для технологий культивирования растительных тканей и оказывает мощную поддержку развитию современных сельскохозяйственных технологий. KLC стремится предоставлять индивидуальные решения по очистке воздуха для лабораторий культивирования тканей, научно-исследовательских учреждений и сельскохозяйственных предприятий, способствуя развитию технологий культивирования тканей.
Основные функции и подробные различия между воздушный душ и ящик для пропускав чистые помещения:Общим для обоих является контроль загрязнения и поддержание уровня чистоты в помещении. Оба должны соответствовать нормам и стандартам, таким как GMP и ISO 14644. Однако существуют существенные различия в их областях применения, принципах работы и требованиях к эксплуатации, которые подробно описаны ниже: I. Сходства1. Структурная защита от перекрестного зараженияОбе двери оснащены устройством блокировки двойных дверей, предотвращающим одновременное открытие обеих дверей. Это физически блокирует прямой поток воздуха между чистым помещением и нечистым помещением (или помещениями разных уровней чистоты), предотвращая дисбаланс давления в чистом помещении и распространение загрязняющих веществ. 2. Последовательные правила и требования к управлениюОба элемента должны быть включены в систему управления оборудованием чистых помещений, иметь полные записи о техническом обслуживании и калибровке, а также подлежать регулярным проверкам и инспекциям. Ежедневная уборка требует использования безворсовых салфеток для чистых помещений для протирки внутренних стенок, и запрещается хранить внутри оборудования какие-либо посторонние предметы, чтобы предотвратить их превращение в новые источники загрязнения. 3. Схожие принципы технического обслуживания и калибровки.Оба варианта требуют регулярной проверки целостности дверного уплотнения и рабочего состояния функциональных компонентов, а также своевременной замены изнашивающихся расходных материалов (таких как фильтры и УФ-лампы), чтобы гарантировать, что оборудование всегда находится в рабочем состоянии, соответствующем требованиям. II. Различия1. Применимые объектыВоздушный душ Они применимы для персонала и крупногабаритных грузов, таких как операторы и инспекторы, входящие в чистую комнату, а также для тележек из нержавеющей стали и больших контейнеров для перемещения материалов. Они могут удовлетворить потребности в транспортировке крупногабаритных и насыпных материалов.Пропускной ящикПропуск разрешен только для небольших материалов, инструментов и документов, таких как пробирки для образцов, пробирки с реагентами, салфетки для чистых помещений, стерильные перчатки и чистые версии протоколов о производстве партий продукции. Пропуск персонала или крупногабаритных предметов строго запрещен. 2. Основные принципы очисткиВ основе работы воздушной душевой камеры лежит высокоскоростной поток воздуха, создаваемый системой фильтрации. Вентилятор подает воздух, который фильтруется с помощью вентилятора. высокоэффективный фильтр для очистки воздуха от твердых частиц (HEPA-фильтр), С помощью форсунок со скоростью не менее 25 м/с происходит принудительное удаление частиц пыли и микроорганизмов, прилипших к волокнам одежды персонала и поверхностям тележек. Сдуваемые загрязнения собираются через вентиляционные отверстия для возвратного воздуха и снова фильтруются, образуя циркуляционный процесс очистки.В основе работы бокса лежит принцип физической изоляции и вспомогательной дезинфекции. Базовая модель обеспечивает только пространственную изоляцию за счет блокирующихся дверей и не имеет функции активной очистки; модели с УФ-дезинфекцией оснащены встроенной УФ-лампой с длиной волны 253,7 нм, которая при активации облучает в течение 15-30 минут, уничтожая бактерии путем разрушения ДНК-структуры микроорганизмов. Функция обдува воздухом отсутствует на протяжении всего процесса, поэтому она не изменяет состояние прикрепления частиц к поверхности предметов. 3. Место установки и требования к условиям окружающей средыВоздушная душевая камера должна быть установлена в буферной зоне у главного входа для персонала/материалов в чистую зону, образуя трехуровневое разделение между нечистой и чистой зонами (нечистая зона → воздушная душевая камера → чистая зона). Место установки должно иметь достаточное пространство для прохода, чтобы обеспечить полное открытие дверей. Также необходимо учитывать разницу давлений в чистой зоне; разница давлений внутри воздушной душевой камеры должна быть немного ниже, чем в чистой зоне, и выше, чем в нечистой зоне.Перепускной бокс встраивается непосредственно в перегородку между чистой и нечистой зонами или между различными уровнями чистых зон. Место установки должно быть удобным для персонала с обеих сторон. Размер отверстия в стене должен соответствовать техническим характеристикам перепускного бокса. Дополнительный контроль перепада давления не требуется; необходимо лишь обеспечить соответствие параметрам окружающей среды. 4. Порядок работыПорядок работы воздушной душевой камеры следующий: после входа персонала или тележки наружная дверь закрывается, а блокировочное устройство блокирует внутреннюю дверь; инфракрасный датчик включает вентилятор для подачи воздуха с заданным временем обдува 15-30 секунд (регулируется в зависимости от класса чистого помещения); после завершения обдува вентилятор останавливается, внутренняя дверь разблокируется, и персонал или тележка могут войти в чистую зону. Принудительное открытие блокировочных дверей запрещено на протяжении всего процесса. Кнопка аварийной остановки должна использоваться только в экстренных ситуациях. Работа передаточного ящика следующая: персонал на нечистой стороне открывает наружную дверь, помещает предметы внутрь и закрывает наружную дверь, чтобы убедиться в срабатывании блокировки; если это модель с УФ-дезинфекцией, УФ-лампа должна быть включена и оставаться включенной в течение заданного времени дезинфекции, после чего выключается; персонал на чистой стороне убеждается, что наружная дверь закрыта, затем открывает внутреннюю дверь, чтобы достать предметы, и, наконец, закрывает внутреннюю дверь. Обратите внимание, что открывать любую из дверей во время работы УФ-лампы запрещено, чтобы предотвратить утечку УФ-излучения и возможные травмы. 5. Информация о техническом обслуживании и калибровкеЕжедневное техническое обслуживание душевой кабины включает проверку бесшумной работы вентилятора, чувствительности датчика и корректной работы функции блокировки; еженедельное техническое обслуживание включает уборку. предварительные фильтрыПротирание форсунок и проверка целостности уплотнителей двери; ежемесячное техническое обслуживание включает проверку целостности HEPA-фильтра (проверка на герметичность с помощью PAO) и калибровку скорости воздушного потока до не менее 25 м/с; каждые шесть месяцев следует заменять предварительные фильтры и проверять двигатель вентилятора. Ежедневное техническое обслуживание окна для переноса включает проверку правильности работы функции блокировки, включения индикатора УФ-лампы (для моделей с дезинфекцией) и отсутствия загрязнений на смотровом окне; еженедельное техническое обслуживание включает протирку внутренних поверхностей 75%-ным этанолом и проверку плавного вращения дверных петель; ежемесячное техническое обслуживание включает калибровку интенсивности УФ-излучения (которая должна достигать бактерицидного порога ≥70 мкВт/см²) и замену изношенных уплотнителей; ежеквартальное техническое обслуживание включает замену УФ-ламп (срок службы которых обычно составляет 8000 часов). III. Взаимодополняющие функцииВоздушная душевая камера предназначена для активной очистки персонала и крупногабаритных материалов, предотвращая попадание больших объемов загрязнений в чистую зону; передающее окно обеспечивает стерильную изоляцию и перемещение мелких предметов, избегая нарушения перепада давления и стабильности окружающей среды в чистой зоне из-за частого открывания дверей. Оба элемента незаменимы и вместе составляют комплексную систему контроля загрязнения при входе и выходе персонала и материалов из чистой зоны.
Поддерживается сеть IPv6
