Производственная среда для полупроводниковые приборы чрезвычайно чувствителен к присутствию загрязняющих веществ. Даже небольшое количество газообразных или твердых частиц может снизить качество продукции. Поэтому требования к чистоте в производстве полупроводниковых приборов гораздо выше, чем в производстве полупроводниковых приборов. другие отрасли. На протяжении всего процесса производства микросхем и полупроводниковых устройств контроль загрязнения технологической среды имеет решающее значение. Чистота воздуха в основных процессах должна соответствовать стандартам ISO Class 1, а концентрация газообразных молекулярных загрязняющих веществ (AMC) должна быть ниже одной части на миллиард. Несоответствие технологической среды стандартам может привести к значительному снижению выхода продукции. Обычный воздух содержит большое количество твердых частиц, таких как микрочастицы и пыль, а также газообразных загрязняющих веществ, таких как диоксид серы, оксиды азота и аммиак. Только после очистки он может попасть в помещение. чистое помещение. Поскольку в чистых помещениях, используемых для производства полупроводников и других микроэлектронных устройств, необходимо поддерживать стандартные уровни чистоты круглосуточно, система кондиционирования воздуха в чистых помещениях (включая вытяжную систему), связанные с ней источники тепла и холода, а также соответствующие системы подачи должны работать круглосуточно, что существенно отличается от других обычных систем кондиционирования воздуха. Вентилятор, являясь источником питания, потребляет большую часть энергии за счёт совокупного сопротивления его компонентов. Кроме того, воздушный фильтрСопротивление составляет примерно 50% от общего напора вентилятора. Поэтому снижение энергопотребления фильтрами кондиционеров имеет решающее значение для снижения энергопотребления в здании и выбросов углерода. С точки зрения повышения энергоэффективности и снижения энергопотребления оптимизация производительности воздушных фильтров без ущерба для требований к фильтрации имеет решающее значение. Энергопотребление фильтра напрямую зависит от среднего сопротивления и связано с начальным сопротивлением и пылеёмкостью. Снижение начального сопротивления, увеличение пылеёмкости и минимизация роста сопротивления в процессе пылеудержания — эффективные способы снижения энергопотребления, что снижает расходы потребителей на электроэнергию и способствует защите окружающей среды.
Воздушные фильтры – это очистители воздуха, работающие по принципу фильтрации. НЕРА-фильтр мы часто слышим о том, что означает Высокоэффективный сажевый воздушный фильтр. Давайте разберем пять основных принципов фильтрации воздуха, чтобы помочь вам понять их основную логику. 1. Эффект перехвата: Волокна фильтра имеют сложную структуру. При контакте частиц пыли с поверхностью волокон фильтра они непосредственно задерживаются, если находятся достаточно близко к фильтрующему материалу. Это явление особенно заметно в плотных фильтрующих материалах, таких как трёхмерная сетчатая структура, образованная ультратонкими волокнами в ткани для масок, изготовленной методом мелтблауна, которая способна прочно удерживать вирусные аэрозоли в промежутках между волокнами. 2. Эффект инерции: Сложное расположение фильтрующих волокон в воздушном фильтре приводит к тому, что воздушный поток сталкивается с препятствиями и отклоняется при прохождении через фильтрующий материал. Частицы пыли в воздухе под действием сил инерции отрываются от потока и ударяются о поверхность фильтрующих волокон, оседая на ней. Чем крупнее частица, тем больше сила инерции, тем выше вероятность её блокировки фильтрующими волокнами и тем выше эффективность фильтрации. 3. Эффект диффузии: Эффект диффузии направлен на ультрадисперсные частицы размером менее 0,1 мкм. Частицы размером менее 0,1 мкм в основном совершают броуновское движение, двигаясь по неупорядоченной траектории, что значительно увеличивает вероятность контакта с волокнами фильтра; чем меньше частица, тем легче её удалить. 4. Эффект гравитации: Когда скорость воздушного потока ниже скорости осаждения частиц, более крупные частицы естественным образом оседают под действием силы тяжести. Башни очистки дымовых газов на тепловых электростанциях расширяют пространство и снижают скорость потока, позволяя пыли оседать в пылеуловитель подобно песку, оседающему на дно водоёма. Этот механизм экономичен и эффективен для очистки пыли высокой концентрации, но его воздействие на взвешенные частицы ограничено, и обычно он используется в качестве метода предварительной очистки. 5. Электростатический эффект: Технология электростатического электрета заряжает волокна, давая фильтрующему материалу способность активно захватывать частицы с противоположным зарядом, подобно тому, как магнит притягивает железные опилки. Этот механизм особенно эффективен для заряженных частиц PM2.5, и промышленное пылеудаляющее оборудование использует электретную обработку поверхности фильтра.
В чистых помещениях к системам вентиляции предъявляются строгие требования. Они должны обеспечивать достаточный поток воздуха и давление, а также точный контроль температуры и влажности, обеспечивая стабильное качество воздуха. Эти требования применимы к различным схемам воздушных потоков и размерам помещений. Многие производственные процессы требуют соблюдения условий чистоты, поскольку чистые, и даже сверхчистые, помещения гарантируют экологичность продукции при строгих условиях производства. Даже мельчайшие примеси в воздухе могут негативно повлиять на производственные процессы, приводя к высокому проценту брака. Например, производственные среды в таких областях, как оптика и лазеры, аэрокосмическая промышленность, биологические науки, медицинские исследования и лечение, пищевое и фармацевтическое производство, а также нанотехнологии, требуют практически 100% беспылевой и безбактериальной подачи воздуха. Однако, кондиционирование воздуха и системы вентиляции в чистых помещениях Энергоэффективность и стоимость вентиляторов критически важны из-за высокой скорости воздухообмена. Поэтому, помимо требований к аэродинамическим характеристикам, вентиляторы должны соответствовать таким ключевым стандартам, как компактность, низкий уровень шума, использование материалов, подходящих для чистых помещений, наличие надлежащих возможностей управления, сетевые возможности и энергоэффективность. Фильтры FFU разработаны специально для решения этих задач. Они эффективно улучшают вентиляцию в чистых помещениях, обеспечивая стабильность производственной среды и качество продукции. FFU — это устройство, которое искусно сочетает в себе систему фильтрации и вентилятор. Он имеет потолочную конструкцию, компактен и эффективен, а также занимает минимальное пространство для установки. FFU содержит предварительные и высокоэффективные фильтры. Воздух засасывается вентилятором сверху, проходит тонкую фильтрацию и затем равномерно распределяется со скоростью 0,45 м/с ± 20%. АФУ играют ключевую роль в чистых помещениях, чистых боксах, чистых производственных линиях, модульных чистых помещениях и локальных средах класса 100. Эти области применения охватывают производство полупроводников, электроники, плоских дисплеев и дисководов, а также оптику, биомедицину и прецизионное производство — отрасли с жесткими требованиями к контролю загрязнения воздуха. Гибкость и простота использования FFU: модульная конструкция FFU с автономным питанием упрощает замену, установку и перемещение. Соответствующие фильтры легко заменяются, не имеют ограничений по местоположению и идеально подходят для зонированного контроля в чистых помещениях. FFU можно легко заменить или переместить для адаптации к различным чистым средам по мере необходимости. Кроме того, FFU можно использовать для создания простых чистых столов, чистых кабин, чистых проходных шкафов и шкафов для хранения чистых материалов, отвечающих различным требованиям к чистоте. Возможность потолочного монтажа, особенно в больших чистых помещениях, значительно снижает затраты на строительство. Технология вентиляции с отрицательным давлением: уникальная конструкция системы вентиляции с отрицательным давлением в фильтро-вентиляционном блоке FFU позволяет легко достичь высокого уровня чистоты в различных условиях. Благодаря автономному питанию поддерживается избыточное давление внутри чистого помещения, что эффективно предотвращает проникновение внешних частиц и обеспечивает безопасную и удобную герметизацию. Тихая работа: Фильтрующий блок вентилятора FFU Он отличается исключительно тихой работой, сохраняя низкий уровень шума даже при длительном использовании. Вибрация очень низкая, что обеспечивает плавную регулировку скорости и равномерное распределение воздушного потока, обеспечивая стабильную чистоту помещения. Устройства подачи воздуха для чистых помещений * Быстрое строительство: благодаря использованию технологии FFU нет необходимости в изготовлении и монтаже воздуховодов, что значительно сокращает цикл строительства. * Снижение эксплуатационных расходов: подача чистого воздуха в чистые помещения с помощью технологии FFU не только экономична, но и чрезвычайно энергоэффективна. Хотя первоначальные инвестиции в FFU могут быть несколько выше, чем в канальную вентиляцию, их отсутствие необходимости в обслуживании в долгосрочной перспективе значительно снижает общие эксплуатационные расходы. * Экономия пространства: по сравнению с другими системами системы FFU занимают меньшую высоту пола в камере притока и практически не занимают места в чистом помещении. * Широкая применимость: системы FFU могут адаптироваться к чистым помещениям и микросредам различных размеров и требований к чистоте, обеспечивая высококачественный чистый воздух. При строительстве или реконструкции чистых помещений они не только повышают уровень чистоты, но и эффективно снижают уровень шума и вибрации. Применение систем FFU в цехах по производству полупроводниковых пластин: Системы FFU широко используются в чистых помещениях, требующих уровней очистки воздуха ISO 1-4, играя решающую роль, особенно в процессах с вертикальным ламинарным потоком в цехах по производству полупроводниковых пластин. В технической антресоли воздух эффективно доставляется в чистый производственный слой через FFU. Затем этот поток воздуха проходит через фальшполы и отверстия вафельных плит, попадая в чистую нижнюю техническую антресоль. Наконец, после обработки DCC (сухими охлаждающими змеевиками) в воздуховоде возврата воздуха, воздух возвращается в верхнюю техническую антресоль, образуя цикл. Такая конструкция эффективно поддерживает строгий контроль производственной среды в цехе по изготовлению пластин, включая температуру, влажность, чистоту и гашение вибраций. Кроме того, применение систем FFU в биологических лабораториях также имеет важное значение. При работе персонала лаборатории с патогенными микроорганизмами, экспериментальными материалами, содержащими патогенные микроорганизмы, или паразитами, системы FFU предъявляют особые требования к проектированию и строительству лабораторий, чтобы обеспечить безопасность экспериментов и чистоту окружающей среды. Современные лабораторные системы очистки обычно состоят из нескольких частей, включая слой статического давления, технологический слой, вспомогательный слой технологического воздуха и воздуховод обратного воздуха. В этой системе для обработки воздуха в первую очередь используются фильтры-уловители (ФУ). Принцип работы заключается в следующем: ФУ обеспечивают необходимую циркуляцию, смешивая свежий воздух с рециркулированным, который затем, пройдя через сверхвысокоэффективные фильтры, подается в технологический слой и вспомогательный слой технологического воздуха. Поддержание отрицательного давления между слоем статического давления и технологическим слоем эффективно предотвращает утечку вредных веществ, обеспечивая чистоту и безопасность лабораторной среды.
Прорыв в технологии культивирования тканей каучуконосных деревьев ускоряет модернизацию современного сельского хозяйства. Инновационная технология, разработанная Институтом исследований каучука Китайской академии тропических сельскохозяйственных наук, основанная на соматическом эмбриогенезе и черенковании, позволила добиться эффективного размножения и повышения качества саженцев каучуконосных деревьев, вдохнув новый импульс в индустрию культивирования тканей растений. Однако культивирование растительных тканей предъявляет чрезвычайно высокие требования к среде выращивания, что требует создания исключительно чистых лабораторных условий для обеспечения стерильности. Традиционное оборудование для очистки воздуха часто не отвечает строгим требованиям к контролю частиц и микробов, что приводит к повышению риска заражения и влияет на выживаемость и качество рассады, выращенной в культуре тканей. Поэтому модернизация оборудования для очистки воздуха приобрела решающее значение для развития технологии культивирования тканей. Обладая 20-летним опытом в области технологий очистки воздуха, компания KLC, благодаря своим инновационным технологиям и профессиональному дизайну, обеспечивает комплексную поддержку чистой среды для выращивания тканей каучуконосных деревьев. Вместе они создали эффективную, интеллектуальную и простую в обслуживании систему очистки воздуха, обеспечивающую надежную защиту среды роста культур тканей растений. Очистка большой площади, обеспечивающая стерильный ростВоздушные фильтры HEPA от KLCБлагодаря превосходной фильтрации, чистота воздуха в лаборатории тканевых культур достигает высочайших стандартов. Высокоэффективная фильтрация гарантирует стерильность выращиваемых рассадных культур, снижая риск заражения. Система непрерывной очистки воздуха охватывает всё пространство, обеспечивая бесперебойную очистку и стабильную работу всех зон лаборатории тканевых культур, гарантируя отсутствие загрязнений на протяжении всего процесса культивирования и непрерывную и стабильную работу большой чистой зоны. Защита от воздушного потока, блокирующая проникновение загрязненийОкна воздушного душа KLC используются для передачи материалов, обеспечивая их очистку воздухом перед подачей в лабораторию для удаления поверхностных загрязнений. Это эффективно предотвращает проникновение внешних загрязнений в лабораторию через материалы, защищая среду роста культивируемых тканей. Горизонтальная чистота, защита стерильных операцийНекоторые процессы культивирования растительных тканей требуют использования стерильных рабочих столов с высокой степенью чистоты. Горизонтальный ламинарный рабочий стол KLC обеспечивает горизонтальный поток чистого воздуха, обеспечивая чистоту воздуха в рабочей зоне. Это обеспечивает стерильную рабочую среду для таких операций, как инокуляция и выращивание саженцев каучуконосных тканей. Ламинарный поток воздуха, гарантирующий стерильность пространстваКультивирование растительных тканей требует исключительно высокой чистоты в локальных операционных зонах, особенно при некоторых высокоточных экспериментальных операциях. Ламинарные боксы KLC благодаря своей конструкции с точным ламинарным потоком обеспечивают высокочистую воздушную среду в определенных зонах.Вертикальный или горизонтальный ламинарный поток воздуха эффективно удаляет загрязнения из локальных областей, обеспечивая стерильность в критически важных рабочих зонах. Ламинарные боксы KLC обеспечивают точную чистоту при выращивании тканевых культур, способствуя бесперебойному проведению экспериментальных процедур, будь то инокуляция, культивирование или другие чувствительные операции. Решения KLC по очистке воздуха Компания KLC обеспечивает высококачественный чистый воздух для технологий культивирования растительных тканей и оказывает мощную поддержку развитию современных сельскохозяйственных технологий. Компания KLC стремится предоставлять индивидуальные решения по очистке воздуха для лабораторий, занимающихся культивированием тканей, научно-исследовательских институтов и сельскохозяйственных предприятий, способствуя развитию технологий культивирования тканей.