Производственная среда для полупроводниковые приборы чрезвычайно чувствителен к присутствию загрязняющих веществ. Даже небольшое количество газообразных или твердых частиц может снизить качество продукции. Поэтому требования к чистоте в производстве полупроводниковых приборов гораздо выше, чем в производстве полупроводниковых приборов. другие отрасли. На протяжении всего процесса производства микросхем и полупроводниковых устройств контроль загрязнения технологической среды имеет решающее значение. Чистота воздуха в основных процессах должна соответствовать стандартам ISO Class 1, а концентрация газообразных молекулярных загрязняющих веществ (AMC) должна быть ниже одной части на миллиард. Несоответствие технологической среды стандартам может привести к значительному снижению выхода продукции. Обычный воздух содержит большое количество твердых частиц, таких как микрочастицы и пыль, а также газообразных загрязняющих веществ, таких как диоксид серы, оксиды азота и аммиак. Только после очистки он может попасть в помещение. чистое помещение. Поскольку в чистых помещениях, используемых для производства полупроводников и других микроэлектронных устройств, необходимо поддерживать стандартные уровни чистоты круглосуточно, система кондиционирования воздуха в чистых помещениях (включая вытяжную систему), связанные с ней источники тепла и холода, а также соответствующие системы подачи должны работать круглосуточно, что существенно отличается от других обычных систем кондиционирования воздуха. Вентилятор, являясь источником питания, потребляет большую часть энергии за счёт совокупного сопротивления его компонентов. Кроме того, воздушный фильтрСопротивление составляет примерно 50% от общего напора вентилятора. Поэтому снижение энергопотребления фильтрами кондиционеров имеет решающее значение для снижения энергопотребления в здании и выбросов углерода. С точки зрения повышения энергоэффективности и снижения энергопотребления оптимизация производительности воздушных фильтров без ущерба для требований к фильтрации имеет решающее значение. Энергопотребление фильтра напрямую зависит от среднего сопротивления и связано с начальным сопротивлением и пылеёмкостью. Снижение начального сопротивления, увеличение пылеёмкости и минимизация роста сопротивления в процессе пылеудержания — эффективные способы снижения энергопотребления, что снижает расходы потребителей на электроэнергию и способствует защите окружающей среды.
Поддерживается сеть IPv6
