Поскольку требования к чистым помещениям различаются в зависимости от их назначения, а некоторые рабочие среды требуют еще более высоких стандартов чистоты, были внедрены вентиляторно-фильтрующие установки (FFU). Появление FFU (Вентиляторные фильтрующие блокиэффективно решила эту проблему.Использование вентиляторно-фильтрующих установок (FFU) может эффективно решить проблемы, возникающие в проектах чистых помещений. Основные моменты заключаются в следующем: 1. Экономия места — Использование FFU (вентиляторно-фильтрующие блоки)Это позволяет сэкономить место и решить проблему ограниченного пространства для технического обслуживания над потолком чистой комнаты.Для чистых помещений высокого стандарта часто требуются ламинарные боксы класса 100 или даже класса 10, соответствующие технологическим требованиям. В таких случаях над потолком чистого помещения устанавливаются большие воздухораспределительные коробки с вентиляторами внутри. Эти коробки, наряду с воздуховодами подачи и отвода воздуха, занимают значительное пространство, что затрудняет доступ для технического обслуживания и иногда даже влияет на использование путей эвакуации при пожаре. При использовании FFU потолок чистого помещения можно разделить на несколько модулей, каждый из которых представляет собой FFU. Регулируя каждый модуль, можно обеспечить баланс давления в приточном воздуховоде над потолком, значительно уменьшив требуемую высоту воздуховода. Кроме того, отпадает необходимость в больших приточных и отводных воздуховодах, что экономит место для установки. FFU особенно эффективны в проектах реконструкции, где высота потолка ограничена. Более того, FFU выпускаются различных размеров и могут быть изготовлены на заказ в соответствии с фактическими размерами чистого помещения. Благодаря этому они занимают меньше вертикального пространства внутри приточного воздуховода и, по сути, не занимают места внутри самого чистого помещения, что еще больше увеличивает экономию пространства. 2. Гибкость FFU — Благодаря использованию конструктивных особенностей автономности FFU, корректировки можно вносить в любое время, компенсируя ограниченную маневренность чистого помещения и тем самым устраняя недостаток производственных процессов, которые трудно поддаются регулировке.Конструкция чистых помещений, как правило, состоит из металлических панелей, и после завершения строительства ее планировку нельзя свободно изменять. Однако из-за постоянного обновления производственных процессов первоначальная планировка чистого помещения может перестать соответствовать требованиям новых процессов, что приводит к частым модификациям чистого помещения для модернизации продукции, а это, в свою очередь, влечет за собой значительные финансовые и материальные потери.Регулируя количество пылеулавливающих устройств (ПУ), можно локально модифицировать планировку чистого помещения в соответствии с изменениями технологического процесса. Кроме того, ПУ оснащены встроенными источниками питания, воздуховыпускными отверстиями и освещением, что позволяет существенно сэкономить средства. Достичь того же эффекта практически невозможно с помощью обычных интегрированных систем очистки воздуха.Поскольку FFU являются автономными, они не ограничены определенными зонами. В большом чистом помещении при необходимости можно внедрить зональное управление. Кроме того, по мере развития процессов производства полупроводников планировка помещения неизбежно требует соответствующих корректировок. Гибкость FFU позволяет легко вносить такие корректировки без необходимости дополнительных инвестиций. 3. Снижение операционной нагрузки — система FFU Это энергосберегающая система, которая устраняет недостатки централизованной системы кондиционирования воздуха, такие как большие помещения с кондиционерами и повышенные эксплуатационные расходы вентиляционных установок.Если для отдельных чистых помещений в большом комплексе требуются более высокие стандарты чистоты, объем воздуха в централизованной системе кондиционирования должен быть большим, а давление вентилятора — высоким, чтобы преодолеть сопротивление воздуховодов, а также сопротивление первичных, средних и высокоэффективных фильтров и соответствовать требованиям. Более того, в централизованной системе кондиционирования воздуха любой отказ кондиционера приведет к прекращению работы всех чистых помещений, подключенных к этому блоку.Хотя первоначальные инвестиции в использование воздухораспределительных устройств выше, чем в канальную вентиляцию, система демонстрирует выдающиеся энергосберегающие характеристики и не требует технического обслуживания в дальнейшем, что делает воздухораспределительные устройства более популярными.