Новости

Чистые помещения для производства полупроводников (в основном, модель FFU)

I. Требования к чистоте и методы регулирования воздушного потока

Высокие требования к локальной чистоте: такие процессы, как фотолитография и травление в полупроводниковом производстве, требуют поддержания уровня чистоты класса 100 (ISO 5) или даже выше вокруг оборудования. Вентиляторно-фильтрующий блок (FFU) благодаря модульной компоновке может создавать стабильный однонаправленный поток воздуха (0,25–0,35 м/с) в критических зонах, непосредственно покрывая рабочую поверхность оборудования.

Гибкость: Вентиляторно-фильтрующий блок (FFU) позволяет быстро регулировать локальные зоны чистоты, адаптируясь к обновлению оборудования или изменениям производственной линии без модификации всей системы подачи воздуха.

Управление тепловой нагрузкой: Полупроводниковое оборудование выделяет значительное количество тепла. Децентрализованная подача воздуха в блок вентилятора-фильтра (FFU) оптимизирует локальное рассеивание тепла, предотвращая нарушения воздушного потока, вызванные повышением температуры в централизованных системах подачи воздуха.

II. Энергопотребление и различия в стоимости

Преимущества энергосбережения: Вентиляторно-фильтрующий блок (FFU) использует двигатели постоянного/электронного тока с КПД 75–80% и поддерживает регулировку скорости по требованию, что приводит к снижению энергопотребления на единицу воздушного потока по сравнению с централизованными системами.

Низкие затраты на техническое обслуживание: Модульная конструкция упрощает замену фильтров и устранение неполадок, сокращая время простоя.

III. Характеристики отрасли и технологическая адаптация

Динамика процессов: Частые обновления производственных линий и модернизация оборудования требуют от чистых помещений быстрой адаптации. Модульные характеристики FFU (такие как добавление или удаление блоков и изменение компоновки) превосходят стационарные системы.

Контроль микрозагрязнений: Полупроводники чувствительны к частицам размером 0,1 мкм. Фильтры ULPA в FFU (эффективность фильтрации ≥99,999%) могут обеспечить целенаправленную защиту критически важных зон.