Роль вентиляционно-фильтрующих установок в чистых помещениях
Роль вентиляционно-фильтрующих установок в чистых помещениях
January 09, 2026
В зависимости от назначения чистых помещений предъявляются различные требования к уровню чистоты, такие как класс 100, класс 1000, класс 10000, класс 100000, класс 300000 или даже более высокие уровни чистоты. Для удовлетворения этих различных требований был разработан вентиляторно-фильтрующий блок (FFU). Появление FFU эффективно решило эту проблему.
Использование вентиляторно-фильтрующего блока (FFU) позволяет эффективно решать проблемы в проектировании чистых помещений.
Основные преимущества:
1. Экономия места – Использование вентиляторно-фильтрующего блока (FFU) позволяет экономить место и решает проблему ограниченного пространства для технического обслуживания над потолком чистого помещения.
Для чистых помещений высокого уровня чистоты требуются ламинарные боксы класса 100 или даже класса 10, соответствующие технологическим требованиям. Это требует наличия больших воздухораспределительных камер над потолком чистого помещения, содержащих вентиляторы. Эти камеры, наряду с воздуховодами подачи и отвода воздуха, занимают значительное пространство, что ограничивает доступ для технического обслуживания и иногда даже препятствует эвакуации при пожаре.
При использовании вентиляторно-фильтрующих блоков (FFU) потолок чистого помещения разделяется на несколько модулей, каждый из которых представляет собой вентиляторно-фильтрующий блок (FFU). Это позволяет регулировать каждый модуль в соответствии с требованиями баланса давления в воздухораспределительном коллекторе над потолком, значительно уменьшая необходимую высоту коллектора. Это также исключает необходимость в больших воздуховодах для подачи и отвода воздуха, тем самым экономя место для установки. Это особенно выгодно в проектах реконструкции, где высота потолка ограничена. Вентиляторно-фильтрующие блоки (FFU) выпускаются различных размеров и могут быть адаптированы к фактическим размерам чистого помещения. Поскольку они занимают меньшую высоту в воздухораспределительном коллекторе и практически не занимают места в самом чистом помещении, они обеспечивают значительную экономию пространства.
2. Гибкость FFU – Независимая конструкция FFU (вентиляторно-фильтрационного блока) обеспечивает легкую регулировку, компенсируя недостаточную гибкость в проектировании чистых помещений и устраняя ограничения фиксированных производственных процессов.
Помещения с чистой средой обычно строятся из металлических панелей, и после постройки их планировку сложно изменить. Однако из-за постоянных обновлений производственных процессов первоначальная планировка чистого помещения может перестать соответствовать потребностям новых процессов, что приводит к частым модификациям и значительным потерям ресурсов и денег из-за изменений в продукции. Увеличивая или уменьшая количество пылеулавливающих устройств (ПУ), можно локально корректировать планировку чистоты помещения в соответствии с изменениями в процессе. Поскольку ПУ имеют собственное электропитание, воздуховыпускные отверстия и освещение, можно значительно сэкономить средства. Этого практически невозможно достичь с помощью типичных централизованных систем очистки воздуха.
Поскольку FFU являются автономными, их возможности не ограничены площадью помещения. В большом чистом помещении ими можно управлять по зонам по мере необходимости. Кроме того, по мере изменения процессов производства полупроводников, планировка завода неизбежно потребует соответствующих корректировок. Гибкость FFU упрощает эти корректировки и позволяет избежать дополнительных инвестиций.
3. Снижение эксплуатационных расходов – Система FFU (вентиляторно-фильтрующий блок) энергоэффективна, что позволяет преодолеть недостатки централизованных систем подачи воздуха, такие как большие помещения с кондиционерами и высокие эксплуатационные расходы кондиционеров.
Если в крупном комплексе чистых помещений требуются более высокие стандарты чистоты для отдельных чистых комнат, то централизованная система кондиционирования воздуха потребует большего расхода воздуха и более высокого давления вентилятора для преодоления сопротивления воздуховодов, предварительных фильтров, фильтров средней и высокой эффективности. Более того, в централизованной системе подачи воздуха, если кондиционер выйдет из строя, все чистые комнаты, обслуживаемые этим кондиционером, перестанут работать.