блог

Стандарты класса чистых помещений

Классы чистых помещений обычно разделяются в зависимости от количества и размера частиц, находящихся в воздухе. На международном уровне для классификации марок обычно используется ISO 14644. Согласно этому стандарту классы чистых помещений варьируются от высокого до низкого: ISO 1-9.

Следует отметить, что стандарты чистых помещений могут различаться в зависимости от конкретной отрасли и применения. При производстве полупроводниковых чипов стандарты чистых помещений обычно более строгие, чтобы гарантировать, что качество и производительность производимых чипов соответствуют ожиданиям.

Уровни чистых помещений можно разделить на: Класс 1 > Класс 10 > Класс 100 > Класс 1000 > Класс 10000 > Класс 100000 > Класс 300000.

Чистые помещения класса 1 в основном используются в микроэлектронной промышленности для производства интегральных схем, а требования к точности интегральных схем субмикронные.

Чистые помещения класса 10 в основном используются в полупроводниковой промышленности с шириной полосы пропускания менее 2 микрон.

Класс чистоты 100 широко применим и может удовлетворить потребности в чистоте большинства отраслей промышленности. Может использоваться для асептической технологии производства в фармацевтической промышленности. Это чистое помещение может быть использовано для хирургических операций по изготовлению трансплантатов и интеграторов, а также для изоляционного лечения пациентов, особо чувствительных к бактериальным инфекциям.

Чистые помещения класса 1000 в основном используются для производства тонкой оптической продукции, а также используются для испытаний, сборки авиационных гироскопов, сборки тонких микроподшипников и т. д.

Чистые помещения класса 10000 могут использоваться для сборки гидравлического или пневматического оборудования, а в некоторых случаях также используются в пищевой промышленности и производстве напитков. Кроме того, чистые помещения класса 10000 также широко используются в медицинской промышленности.

Допустимая концентрация частиц 0,5 мкм в чистом помещении класса 1000 составляет менее 35200 (пк/м3), а допустимая концентрация частиц 5 мкм — менее 293 (пк/м3). 2. Допустимая концентрация частиц размером 0,5 мкм в чистом помещении класса 10 000 составляет менее 352 000 (пк/м3), а допустимая концентрация частиц размером 5 мкм — менее 2930 (пк/м3).

Соображения безопасности

Оформление чистых помещений полупроводников должно соответствовать требованиям безопасности. Вообще говоря, в чистых помещениях для производства полупроводников содержится большое количество легковоспламеняющихся и взрывоопасных веществ, поэтому при отделке следует соблюдать соответствующие национальные правила безопасности, такие как предотвращение пожара и взрывов. Кроме того, следует также учитывать загрязнение окружающей среды, а также здоровье и безопасность персонала, чтобы гарантировать, что отделочные материалы соответствуют национальным стандартам и не наносят вреда здоровью человека.

Система очистки воздуха в чистых помещениях

В чистых помещениях производства полупроводников требуются системы очистки воздуха, обеспечивающие чистоту воздуха в цехе. Система очистки воздуха в основном состоит из воздушных фильтров, систем подачи воздуха, систем возврата воздуха и вытяжных систем. Среди них воздушные фильтры являются важным компонентом, который может эффективно удалять твердые частицы и микроорганизмы из воздуха.

Отделка пола, стен и потолка

При отделке чистых полупроводниковых помещений отделка полов, стен и потолков очень важна, поскольку эти зоны подвержены загрязнению. Пол должен быть изготовлен из износостойких, антистатических и легко чистящихся материалов, например, эпоксидного наливного пола или пола из ПВХ-пластика; стены и потолки должны быть изготовлены из устойчивых к коррозии, антистатических и легко чистящихся материалов, таких как алюминиевые пластины, пластины из нержавеющей стали, стеклянные навесные стены и т. д.

Расположение электрооборудования, такого как лампы и розетки.

При оформлении чистых полупроводниковых помещений также очень важно расположение ламп и розеток. Чтобы предотвратить попадание в цех таких загрязняющих веществ, как пыль и микроорганизмы, эти устройства следует устанавливать на потолке или выше высоты стены, а также выбирать антистатические и непылящие материалы.

Двери, окна, чистые верстаки и другие помещения.

При отделке чистых полупроводниковых помещений особого внимания также требуют двери, окна, чистые верстаки и другие помещения. Двери и окна должны быть изготовлены из материалов с хорошей герметизацией и легко чиститься, например, двери и окна из нержавеющей стали; чистые верстаки должны быть изготовлены из материалов, которые не осыпают порошок, частицы шлака, устойчивы к коррозии и легко чистятся, например верстаки из нержавеющей стали.