Новости

В связи с быстрым развитием индустрии интегральных схем и полупроводников, требования к чистым помещениям на электронных заводах уже не ограничиваются традиционными «классами 10 000» или «классом 1000». В некоторых ключевых областях даже требуются стандарты «класса 100» или выше. Выбор оборудования для чистых помещений на электронных заводах должен тесно соответствовать основным требованиям, учитывая множество аспектов, таких как уровень чистоты, антистатические свойства и защита от химических газов (AMC).

На электронных заводах необходимо не только строго контролировать количество частиц размером от 0,1 мкм до 0,5 мкм, но и предъявлять чрезвычайно высокие требования к антистатической защите и защите от химических газов. Класс 100 обычно используется в производстве микросхем и фотолитографии; классы 1000 и 10000 в основном применяются в зонах сборки, тестирования и упаковки.

Руководство по выбору основного оборудования

В крупных чистых помещениях на электронных заводах предпочтительным выбором являются вентиляторно-фильтрующие установки KLC (FFU). Учитывая обширную площадь цеха, коэффициент энергоэффективности вентиляторно-фильтрующей установки (FFU) имеет решающее значение; поэтому рекомендуется выбирать вентиляторно-фильтрующие установки KLC (FFU), оснащенные высокопроизводительными двигателями EC, для обеспечения группового управления и энергосберегающей работы.

Для зон класса 100 и выше рекомендуются сверхвысокоэффективные фильтры KLC, обеспечивающие эффективность фильтрации более 99,999% для частиц размером 0,12 мкм. На высокотехнологичных предприятиях по производству микросхем фильтры KLC из ПТФЭ (политетрафторэтилена) являются предпочтительной альтернативой традиционным фильтрующим материалам из стекловолокна благодаря их коррозионной стойкости, отсутствию отслоения и низким потерям давления.

Учитывая большое количество сотрудников на электронных заводах, для повышения эффективности перемещения следует выбирать автоматические раздвижные воздушные душевые кабины или воздушные туннели KLC, оснащенные высокоэффективными антистатическими устройствами.

Применение локальной очистки и чистых кабин.

Не весь цех требует высокого уровня чистоты. Для отдельных рабочих мест на производственной линии можно использовать чистые кабины KLC. Это оборудование недорогое, быстро устанавливается и легко перемещается, а также позволяет быстро создавать локальные производственные зоны класса 100 внутри цеха класса 10000, значительно снижая первоначальные затраты на строительство.

Перемещение материалов и предотвращение загрязнения

Электронные блокировочные окна KLC незаменимы. В полупроводниковой промышленности необходимо часто переключать материалы между помещениями с разным уровнем чистоты. Электронные блокировочные окна KLC гарантируют, что две двери не будут открыты одновременно, эффективно поддерживая баланс давления и чистоту внутри помещения.

Стабильная работа чистых помещений на заводах по производству электроники зависит от высококачественной фильтрации воздуха. Воздушные фильтры KLC и вентиляционные фильтрующие установки (ВФУ), благодаря своему длительному сроку службы и высокой надежности, стали долгосрочными партнерами многих компаний, занимающихся производством полупроводников и электроники.