Энергосберегающая система очистки для электронной промышленности: МАУ+ФФУ+ДКК
Энергосберегающая система очистки для электронной промышленности: МАУ+ФФУ+ДКК
July 16, 2024
В связи с быстрым развитием электронной промышленности требования к окружающей среде и поддерживающим ее проектам становятся все более строгими. Являясь важной частью завода электроники, система кондиционирования воздуха должна не только стабильно контролировать температуру, влажность и чистоту в помещении, но также учитывать энергопотребление очистительного кондиционера. Поэтому на крупных экологически чистых заводах обычно применяется более энергосберегающее системное решение MAU+DC+FFU.
1. Знакомство с системой МАУ+ФФУ+ДКК.
МАУ: Блок кондиционера свежего воздуха блока подпитки
В основном отвечает за контроль влажности.
ФФУ: Блок фильтра вентилятора Блок фильтра вентилятора
Основная ответственность за контроль чистоты
ДКК: Змеевик сухого охлаждения Сухой змеевик
В основном отвечает за контроль температуры.
Система кондиционирования воздуха MAU+FFU+DCC в основном используется в цехах по производству электроники с высокими требованиями к чистоте (тысячный уровень и выше). В китайской промышленности микроэлектроники (интегральных схем), оптоэлектроники (TFT-LCD, LCD, LED и т. д.) и других крупных отраслях он широко используется в чистых мастерских с большой площадью и высоким уровнем чистоты. Он обладает такими преимуществами, как простота настройки, значительная экономия энергии, адаптируемость к технологической модернизации и значительная экономия непроизводственных и непроизводственных площадей.
Принципиальная схема системы МАУ+ФФУ+ДКК выглядит следующим образом:
Блок кондиционирования свежего воздуха обрабатывает свежий воздух до уровня ниже пересечения линии соотношения тепла и влажности и линии относительной влажности 95% чистого помещения. Блок приточного воздуха должен не только удалять собственную влажную нагрузку, но также должен выдерживать влажную нагрузку, образующуюся в чистом помещении, чтобы гарантировать, что относительная влажность чистого помещения соответствует требованиям. Нагрузка по сухому охлаждению, которая недостаточно обрабатывается блоком приточного воздуха, может быть дополнена сухим змеевиком, расположенным в нижнем мезонине или потолке чистого помещения. Поскольку сухой змеевик расположен на потолке или в проходе, через который проходит циркулирующий воздух FFU, нагрузка на сухое охлаждение, обеспечиваемая сухим змеевиком, будет переноситься в чистое помещение с циркулирующим воздухом.
Преимущества чистой системы кондиционирования воздуха MAU+FFU+DCC
(1)Высокая гибкость и высокий уровень покрытия. Гибкость чистой системы кондиционирования воздуха очень важна для заводов по производству электроники. Если в связи с изменениями в процессе необходимо отрегулировать чистоту цеха на региональном уровне, чистоту локальной зоны можно изменить, изменив объем воздуха FFU или заменив глухую пластину. При плотном расположении степень покрытия может достигать 85,5%.
(2)Верхний потолок FFU находится под отрицательным давлением, которое может играть роль уплотнения. Потолок имеет отрицательное давление, а давление воздуха в чистом помещении больше, чем пространство под потолком. Если между FFU и кронштейном имеется зазор, отрицательное давление в потолке не позволяет воздуху, который не был эффективно отфильтрован, попасть в помещение, что способствует обеспечению чистоты чистого помещения.
(3) Сопротивление системы воздушного потока небольшое, а скорость ветра на выходе воздуха низкая.
(4)Оборудование имеет низкое энергопотребление. После внедрения FFU нет необходимости добавлять дополнительный вентилятор. Вентилятор разбирается на части, поэтому отдельное машинное помещение не требуется. При этом устраняется сопротивление трубопровода подачи воздуха.
Применение в мастерской по производству чистых полупроводников: например, площадь здания составляет около 6800 кв.м, из которых чистые зоны классов 100 и 1000 составляют около 3000 кв.м. В чистой производственной зоне используется система кондиционирования воздуха MAU (блок обработки свежего воздуха) + FFU (вентиляторный фильтр) + DCC (змеевик сухого охлаждения). Циркулирующий в производственной зоне воздух проходит по фальшполу из нижнего технического мезонина в верхний технический мезонин через обратный воздушный канал и сухой змеевик, а затем через вентиляторно-фильтрующую установку направляется в чистое производственное помещение. Обработанный циркулирующий воздух должен обеспечивать поддержание в чистом помещении на соответствующем участке требуемого равномерного уровня чистоты и температуры.
Система подачи свежего воздуха (MAU) использует водную промывку, охлаждение и осушение, фильтрацию или нагрев, увлажнение и фильтрацию для дополнения технологических выхлопов в чистом помещении чистым свежим воздухом и поддержания положительного давления. Установка кондиционирования приточного воздуха с фиксированными параметрами температуры и влажности состоит из секции воздухозаборника, секции пластинчатого фильтра грубой очистки G4 и секции рукавного фильтра средней эффективности F9.
Для ФФУ количество ФФУ, необходимое для каждой зоны, рассчитывается в соответствии с требованиями чистоты и выбранными характеристиками ФФУ для планировки. Являясь основным очистным оборудованием в чистых помещениях, они могут эффективно фильтровать частицы и примеси в воздухе, обеспечивая соответствие качества воздуха в чистых помещениях производственным требованиям. Его эффективная функция воздушного душа позволяет быстро очистить воздух и снизить влияние пыли, бактерий и т. д. на качество продукции.