Проектирование и строительство чистой комнаты для электронных чипов
Проектирование и строительство чистой комнаты для электронных чипов
August 16, 2024
Чистая комната для электронных чипов — это специальное промышленное здание, предназначенное для эффективного контроля ключевых параметров, таких как концентрация частиц в воздухе, количество микробов, температура и влажность, скорость воздушного потока и давление воздуха в цехе. Точный контроль этих условий обеспечивает бесперебойность производственного процесса и высокие стандарты качества продукции, соответствующие строгим требованиям производства электронных чипов.
1. Выбор оборудования
1. Оборудование для очистки воздуха
Оборудование для очистки воздуха является одним из ключевых факторов поддержания чистоты цеха. Его основная функция — фильтровать и очищать загрязняющие вещества в цехе и в то же время регулировать такие параметры, как температура, влажность и давление воздуха в цехе, в соответствии с требованиями производственного процесса и качества продукции.
2. Воздушная душевая.
Воздушная душевая является важным оборудованием в чистом цехе, которое в основном используется для удаления пыли, стерилизации и очистки персонала, материалов и оборудования, поступающих в цех. Цех по очистке электронных чипов должен быть оборудован воздушной душевой, чтобы уменьшить попадание в цех внешней пыли, микроорганизмов и других загрязняющих веществ. Размер и количество душевых кабин должны быть спроектированы в соответствии с реальным положением цеха, чтобы обеспечить соответствие требованиям чистоты цеха.
3. Чистая раздевалка.
Раздевалка чистой комнаты представляет собой изолированную зону внутри и снаружи чистой комнаты. Персоналу необходимо носить чистую одежду, перчатки, бахилы и другое защитное оборудование в этой зоне, чтобы гарантировать, что персонал, входящий в чистое помещение, не принесет внешних загрязнителей.
4. Воздушный душ
Воздушный душ используется для обдува персонала, входящего в чистое помещение, для удаления частиц и бактерий, которые могут переноситься персоналом, и обеспечения чистоты цеха.
5. Очиститель воздуха
Очиститель воздуха может очищать воздух в мастерской от таких загрязняющих веществ, как пыль, бактерии, вирусы и т. д., обеспечивая чистоту в мастерской.
6. Система контроля температуры и влажности.
Система контроля температуры и влажности может контролировать такие параметры, как температура, влажность и давление воздуха в цехе, чтобы гарантировать, что среда цеха соответствует требованиям производственного процесса и качества продукции.
2. Система отопления, вентиляции и кондиционирования
1. Система кондиционирования воздуха
Система кондиционирования воздуха является основным оборудованием HVAC в цехе очистки электронных чипов. Его функция — регулировать такие параметры, как температура в мастерской, влажность и скорость воздушного потока, чтобы поддерживать чистоту и комфорт в мастерской.
2. Система подачи воздуха
Система подачи воздуха направляет чистый воздух от оборудования кондиционирования воздуха в мастерскую, образуя относительно статичный слой воздушного потока для поддержания чистоты в мастерской.
3. Выхлопная система
Выхлопная система цеха очистки электронных чипов является одним из ключевых устройств всего цеха. Его функция — удаление загрязняющих веществ из цеха и поддержание чистоты в цехе.
В настоящее время в мастерской по очистке электронных чипов существует два основных типа выхлопных систем: локальные выхлопные системы и глобальные выхлопные системы. В локальной вытяжной системе используется одно устройство для вытяжки локального технологического оборудования, которое обеспечивает больший объем воздуха и статическое давление и подходит для цехов с более высокими требованиями к чистоте воздуха. Глобальная выхлопная система включает в себя весь цех в вытяжном диапазоне, который в основном используется в тех случаях, когда требования к температуре, влажности и чистоте цеха не очень высоки.
3. Отделочные материалы
При выборе отделочных материалов для мастерских по очистке электронных чипов необходимо учитывать их влияние на чистую окружающую среду, а также обеспечивать их антистатические свойства. Рекомендуется выбирать антистатические полы, стены, потолки и другие материалы.
Для углов стен и пола следует использовать дуговые конструкции, чтобы уменьшить скопление пыли.
1. Световой дизайн
При проектировании освещения цехов по очистке электронных чипов следует выбирать осветительное оборудование с антистатическими функциями. Рекомендуется использовать источники холодного света или светодиодные лампы для уменьшения теплового излучения и рассеивания тепла. В то же время необходимо также учитывать равномерность и яркость освещения для удовлетворения рабочих потребностей.
2. Система очистки отходящих газов и сточных вод.
В ходе производственного процесса цеха очистки электронных чипов образуется большое количество отходящих газов и сточных вод. Для обеспечения чистоты окружающей среды и защиты окружающей среды необходимо сконфигурировать соответствующую систему очистки отходящих газов и сточных вод. Система очистки отходящих газов в основном включает в себя систему выхлопных газов и систему очистки хвостовых газов, а система очистки сточных вод в основном включает в себя систему сбора, предварительной и очистки сточных вод.
3. Система чистой воды
В процессе производства цеха очистки электронных чипов требуется большое количество чистой воды, поэтому необходимо настроить систему чистой воды. Система чистой воды должна включать систему предварительной очистки и систему очистки, чтобы гарантировать, что подаваемая чистая вода может соответствовать производственным требованиям цеха.
4. Система газоснабжения
В процессе производства цеха очистки электронных чипов требуется большое количество азота, водорода и других газов, поэтому необходимо настроить соответствующую систему подачи газа. Система газоснабжения должна включать в себя резервуары для хранения газа, фильтрацию газа, осушку газа и другое оборудование, обеспечивающее качество и стабильность подаваемого газа.